SK, '국산 액체 불화수소' 일부 공정에 투입…日 수출 허가 0건

<앵커>

일본이 90일 넘게 수출 허가를 1건도 내주지 않고 있는 반도체 공정의 핵심소재가 '액체 불화수소'입니다. 그런데 SK하이닉스가 국산 불화수소를 실제 공정에 투입하기 시작했다고 밝혔습니다.

노동규 기자입니다.

<기자>

SK하이닉스는 그제(1일)부터 국산 액체 불화수소를 공정에 투입하기 시작했습니다.

반도체 회로를 새기는 웨이퍼를 깎고 씨는 에칭 공정 가운데 주로 세척 과정에 쓰는 것으로 알려졌습니다.

[이성태/SK하이닉스 홍보팀 : 거래선 다변화를 위한 테스트를 지속적으로 실시해왔고요. 이 중 일부가 완료돼 일부 공장에 투입했습니다.]

SK는 품질이 안정적으로 유지되면 국산 활용 범위를 더 확대할 계획입니다.

액체 불화수소는 보다 정밀한 회로를 새겨 깎을 때 쓰는 기체형 '에칭가스' 보다 기술장벽이 낮아 국산과 중국산 등으로 대체가 상대적으로 수월할 거라는 기대가 많았습니다.

반도체 공정에서 기체형보다 더 많은 양이 사용돼 안정적 공급이 필요합니다.

하지만 일본은 수출규제 이후 3달 동안 3건의 기체 불화수소 '에칭가스'의 수출을 허가하면서도 액체 불화수소의 수출은 1건도 승인하지 않아 고의적 성격이 짙다는 분석이 나옵니다.

삼성전자도 공식 확인은 하지 않고 있지만, 국산 불화수소를 일부 공정에 적용하고 있는 것으로 알려졌습니다.

지난 7월 이후 개별허가 대상인 3개 소재에 대한 일본 정부의 수출 승인 건수는 모두 7건에 불과한 가운데 국내 대기업들의 소재 국산화 작업이 차근차근 진행되고 있습니다.