[대전] 반도체 생산효율 떨어뜨리는 결점 찾아

그동안 원인을 찾아내지 못해 반도체 생산효율을 떨어뜨리는 결함을 국내 연구진이 찾아냈습니다.

한국표준과학연구원 구자용, 김한철 박사팀은 반도체 공정 중 잔류 수분에 의해 발생하는 결함을 자체 기술로 개발한 주사관통현미경을 이용해 원자수준의 마지막 결함을 규명하는 데 성공했습니다.

이번 연구결과를 통해 그동안 원인을 알지 못해 발생했던 반도체 소자의 생산 저하문제를 해결해 고집적, 고성능 반도체 생산을 앞당길 수 있을 것으로 기대됩니다.

(TJB)