물질 균열 현상 제어 기술 개발

국내 연구진이 재료공학 분야의 오랜 난제 가운데 하나인 물질의 균열을 자유자재로 제어하는 기술을 개발했습니다.

교육과학기술부는 10일 이화여대 남구현·박일흥 교수와 KAIST 고승환 교수 등이 참여한 이번 연구가 나노미터급 소자를 상용화하는데 핵심 원천기술로 쓰일 전망이라고 밝혔습니다.

그동안은 균열이 재료를 파괴하는 데만 초점을 맞춰 거시적 연구만 진행해왔을 뿐 균열 그 자체를 이용하는 연구는 없었습니다.

연구팀은 균열이 분자 결합이 단절되는 미시적 현상이라는 점에 주목했습니다.

연구팀은 실리콘으로 된 얇은 판 위에 화학 작용을 일으켜 질화규소를 얇은 박막 형태로 증착시킨 뒤 내부의 응력을 이용해 균열을 일으켰습니다.

이어 특수 설계된 미세한 구조물로 응력의 크기를 조절해 균열의 시작과 방향 전환, 정지 등을 조절했습니다.

이번 연구는 비생산적인 현상이라고 생각된 균열을 이용해, 지금까지 해낼 수 없었던 넓은 면적의 고정밀 나노 공정을 가능케 했다는 점에서 획기적이라는 평가를 받고 있습니다.

연구결과는 세계 최고 권위의 과학전문지 '네이처(Nature)' 10일자 표지논문으로 실렸습니다.