일본이 수출 규제 이후 처음으로 액체 불화수소에 대한 수출을 허가했습니다.
이로써 일본이 규제에 나섰던 반도체 3대 핵심 소재의 수출이 제한적으로나마 모두 이뤄진 셈입니다.
업계에 따르면 이번에 통과된 액체 불화수소는 반도체 제조 공정에 쓰이는 것으로, 일본 수출 규제 직후 주문한 물량 가운데 서류보완 등의 이유로 반려됐던 품목인 것으로 전해졌습니다.
앞서 일본 정부는 지난 8월 포토레지스트에 대한 수출을 허가한 것을 시작으로, 같은달 말 기체 불화수소에 이어 9월에는 플루오린 폴리이미드에 대해서도 수출을 허가한 바 있습니다.